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基侑智净,纳米级蚀刻精度
让晶圆回归本源

全面实现半导体湿法清洗制程设备的国产替代

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基侑智净
Wet Bench 单片机型

二流体刷洗设备,颗粒去除率95%以上

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应用领域
Application Area
Wet Bench 自动机型
Wet Bench 自动机型
应用领域
设备全自动化运行,上货后选择好制程配方,设备自动运行,结束后报警提示,人员取走货物制程参数设置自由度...

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Wet Bench 半自动机型
Wet Bench 半自动机型
应用领域
前后运行式全罩防护密封空间,1个化学槽搭配1个QDR水槽为一个工艺模块,依照工艺需求或洁净室场地空间要求,...

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Wet Bench 单片机型
Wet Bench 单片机型
应用领域
全自动/半自动设备,根据客户需求配置药液可根据客户工艺进行调整配置自动混液系统,比例自由调整高转速中空...

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Wet Bench 化学品供应系统
Wet Bench 化学品供应系统
应用领域
CDU供液系统,主要配合自制设备使用具备液位检测,空桶自动切换双套管配置,防止漏液外流具备自动气液分离功...

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Wet Bench 干燥设备
Wet Bench 干燥设备
应用领域
机型:cassette type / cassette less产品尺寸:4寸至8寸晶圆设备根据制程工艺自动运行颗粒度:cassette ty...

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EFEM & SORTER
EFEM & SORTER
应用领域
兼容OHT和AGV;② 可根据客户需求配置1~4Load port;③ 洁净等级符合 ISO Class 1标准;④ 结构紧凑 , 占地...

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产品中心
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关于基侑
about us
since
2011
昆山基侑电子科技有限公司成立于2011年,总部位于江苏省昆山市,在常州及台湾拥有生产基地,厂房面积约10000㎡,是一家集国内外行业超15年技术优秀人才组成且专注于半导体湿法清洗设备设计制造的国家高新技术企业。公司通过GB/T19001-2016 idt ISO9001:2015 质量体系认证;设备通过SEMI S2、SEMI S6、SEMI F47半导体设备标准证书。公司以科技创新为核心驱动力,致力于为全球半导体产业链提供高精度制程设备和智能化解决方案。技术实力与创新1. 知识产权优势:累计拥有60项专利技术和1项软件著作权,涵盖设备设计、制程优化等关键领域。2. 资质荣誉:连续获评“国家高新技术企业”、“国家科技型中小企业”、“江苏省专精特新中小企业”及入选“苏州市瞪羚计划入库企业”,彰显技术研发与合规经营的双重优势。3. 研发团队:由半导体行业超15年技术优秀人才团队,形成以市场为导向的产学研协同创新体系。

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