前后运行式全罩防护密封空间，1个化学槽搭配1个QDR水槽为一个工艺模块，依照工艺需求或洁净室场地空间要求，可客制化实现多模块功能设备全自动化运行，上货后选择好制程配方，设备自动运行，结束后报警提示，人员取走货物

制程参数设置自由度高，可根据产品型号自由调整设备运行参数

控温精度±1℃

全自动混酸配液系统，可根据产品型号自由调整参数比例，

依客户需求定制浓度监测等功能，根据设定值自动补液

自动补液系统：可根据产品批次、换液时间等进行补液，补液精度最小量0.1ml

颗粒控制：最高0.2μm≤20颗