兼容OHT和AGV；② 可根据客户需求配置1~4Load port；③ 洁净等级符合 ISO Class 1标准；④ 结构紧凑 ， 占地面积小；⑤ 模块化设计 ，维护成本低；⑥ 满足SEMI S2、 SEMI S8标准；⑦ 兼容8寸＆12寸晶圆；⑧ 可根据需求配置Load port或者SMIF⑨ 兼容100μm~775μm晶圆 ， 可根据客 户需求配置真空EE、 伯努利EE和夹持式 EE；

机型：cassette type / cassette less产品尺寸：4寸至8寸晶圆设备根据制程工艺自动运行颗粒度：cassette type 0.2μm≤20颗；cassette less 0.16μm≤20颗

CDU供液系统，主要配合自制设备使用具备液位检测，空桶自动切换双套管配置，防止漏液外流具备自动气液分离功能

全自动/半自动设备，根据客户需求配置药液可根据客户工艺进行调整配置自动混液系统，比例自由调整高转速中空电机，使产品运行平稳满足所有尺寸的产品可兼容铁环和塑料环