① 兼容OHT和AGV；

② 可根据客户需求配置1~4Load port；

③ 洁净等级符合 ISO Class 1标准；

④ 结构紧凑 ， 占地面积小；

⑤ 模块化设计 ，维护成本低；

⑥ 满足SEMI S2、 SEMI S8标准；

⑦ 兼容8寸＆12寸晶圆；

⑧ 可根据需求配置Load port或者SMIF

⑨ 兼容100μm~775μm晶圆 ， 可根据客 户需求配置真空EE、 伯努利EE和夹持式 EE；

⑩ 可根据客户需求配置EE翻转功能。