设备应用8imch以下晶圆尺寸旋干制程；
触控人机搭配PLC的软件控制对旋干步骤进行程序化控制；
使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，振动值控制350um以下；
DI Water清洗辅助系统；
Hot N2干燥辅助系统