前后槽位布局模块设计，一套模块由2个制程槽位结合

机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。

设备应用湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制，由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送，依制程需求或场地需求，配置多款制程槽位模块，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。