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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">前后槽位布局模块设计,一套模块由2个制程槽位结合</span></p><p><br/></p><p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。</span></p><p><br/></p><p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用湿法制程有机溶剂清洗,触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制,由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送,依制程需求或场地需求,配置多款制程槽位模块,提高产能输出,生产流程更有效率管控,各种安全防护标准设计,针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。</span></p><p><br/></p>
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